Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 с. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/67752 (дата обращения: 04.10.2026). — DOI: https://doi.org/10.23682/67752. — Режим доступа: для авторизир. пользователей